光电产品生产过程中VOCs的排放

 光电产品生产过程中VOCs的排放

今天，小编将继续为***家介绍光电产品制造业产生废气污染的五***类产品的制造工艺：半导体集成电路、TFT-LCD、led、印刷电路板（PCB）和电子终端产品。这些也是我们废气处理中经常遇到的问题。

① 半导体集成电路制造过程中VOCs的排放主要来源于光刻和显影过程。这些过程中，使用有机溶液（如异丙醇）清洁晶圆表面，挥发的废气是有机废气的来源之一。同时，光刻工艺中使用的光刻胶（photoresist）中含有挥发性有机溶剂，如乙酸丁酯等，晶圆加工过程中产生的有机废气也挥发成气体。

（2） TFT-LCD生产过程中VOCs的排放包括检测和测试。TFT-LCD的制造工艺可达到100多道工序。生产过程中使用了多种化学有机溶剂和***殊气体，产生了***量的VOCs和复杂的组分。TFT-LCD面板生产过程中VOCs的排放主要集中阵列工程和彩色薄膜工程。阵列工程中的光刻（胶合、曝光和显影）和黑色矩形BM膜制造、彩色矩阵膜形成（红、绿、蓝、RGB）、保护膜形成、MVA膜、彩色膜工程中的PS（光间隔）膜形成是VOCs产生的主要来源。TFT-LCD生产过程中产生的VOCs主要是异丙醇，其次是丙酮、单甲醚丙二醇和单甲醚丙二醇醋酸酯，占VOCs总量的90%以上。

③ LED电子元器件生产过程中VOCs的排放LED电子元器件生产过程中产生的VOCs污染物主要来自基板处理和光刻。LED生产过程中产生的VOC种类主要有三氯乙烯、丙二醇醚、异丙醇、丙酮、丁酮等。

④ PCB生产过程中，单面、双面和多面PCB生产过程都会产生VOCs。VOCs的加工环节比较集中，主要来自贴膜、干燥、印刷等行业。挥发性有机化合物的排放类型主要包括甲醛、醇类（乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇）、酮类（丁酮）和酯类。贮存过程中会产生一些挥发性有机物，乙酸乙酯的产生和排放是挥发性有机物的主要来源。

⑤ 电子终端产品制造过程中VOCs的排放电子终端产品制造过程中，VOCs的主要来源包括电路板清洗剂（采用有机溶剂型清洗剂）的有机废气、电路板三层防喷漆废气、，机器（底盘）喷漆废气、底盘注塑废气。这些废气来自站场局部排气系统，具有排气量***、浓度低的***点。